第225章 浸润式光刻机实验成功(第2/3页)
还是苏翰出现在几人当中那一刻开始。
这个错误就注定了呢。
……
春节期间。
闪龙s1持续热销。
作为全球整车消费市场最先进和最科幻的汽车，自然受到了很多汽车玩家的追捧。
虽然各大汽车厂商也想制作拥有相关功能的汽车。
但问题是好想不好做。
尤其是卫星定位系统。
绝对是一个大工程。
……
华光微电子年初率先完成了浸润式光刻机的相关实验。
几乎和苏翰说的一样。
只要在曝光区域和晶圆之间加上一层高纯度的去离子水。
那么当‘光’通过去离子水的时候会产生偏折，只要在这个时候微缩镜头，就可以将深紫外光的折射率进一步缩小。
从而突破现在一百八十纳米加工工艺的天花板。
本来华光微电子的研发团队之前还觉得苏翰的想法有点太过异想天开。
难道一层水就能突破三十年来困扰整个光刻机产业的壁垒？
但由于苏翰是华光微电子的大客户。
所以他们也只能按照苏翰的设计进行实验。
最后打脸的是苏翰是对的。
实验数据真的突破了一百八十纳米的壁垒。
而且经过多重曝光。
居然达到了惊人的六十五纳米。
华光微电子的高层第一时间就把这个好消息通知了苏翰。
苏翰自然没什么好奇怪的。
在极紫外光技术没有获得突破之前，以前的地球就是用这种方法制造出更高精度的光刻机的。
所以成功不奇怪。
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