418章 收获果实！(第1/1页)
“钟总，想不到你们这么快就把这种氟化氩光刻机需要的镜片研制出来了。”
张京汝此时一脸震惊地对钟保国说道。
“其实国内中科院多年之前研发出了适合深紫外光的波段频谱的光电晶体材料，只不过一直没能走出实验室，我们将这方面的技术专利买了过来重新进行了改进研发，总算是研发出了出了能够匹配120纳米波长激光光源的镜片镀膜材料和镀膜工艺技术。”
钟保国开口说道。
“120纳米波长的激光光源？”
张京汝更加吃惊：“我只听说康尼精机那边研制出了157纳米的光刻
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