510章 崛起的国产半导体设备！(第1/1页)
“没有太大的压力。”
周晓东笑着说道：“这个还是得归功于中央方面对于激光技术的长期研发投入，我们找到了目前世界上最好的激光倍频晶体材料，这种晶体材料能够承受非常强的激光辐照，这让我们研制的准分子激光器光源系统能够输出六十瓦高品质的短波长光源。”
“这次阿斯麦尔公司推出的光刻机设备使用的光源系统输出的功率只能做到四十五瓦，在同样的光刻工艺下，我们国内的设备一次性完成，他们的设备要好几次才能完成。”
周晓东开口说道：“不过我们的设备光源系统能量很强，掩膜版需要重新设
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