1991从芯开始

第1001章 殊途同归的EUV

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第1001章 殊途同归的EUV(第3/4页)

“据说已经设计完了。”

“嗯,是全反射式的?光源搞定没有?”

“光源据说还差一点,但验证机嘛,主要是验证思路的,不是要解决所有问题的。”苏远山深深地吸了口气,轻声道。

他确实很想看看宏芯这边的验证机设计方案是什么样子的。

——在后世,euv光刻机的概念图到处都是,但在现在……即便是asml前两年“断粮”的时候,都没有公开设计图。

李明柳听了便点了点头,不再说话。

汽车一路驶出大门,上了正道后在右侧拐了个弯,紧接着又前进了两千米左右,便抵达了宏芯的大门。

当看到车牌和挡风玻璃下的通行证后,门口的保安直接放行。奥迪便沿着一条弧形的园区路驶向光学实验中心。

头发白了一般,但精神异常矍铄的郑振川领着一大群人站在门口,看到苏远山的座驾后,远远地便挥舞起了手。

……

“郑叔!”苏远山呵呵地伸出双手,和郑振川紧紧的握着。

随后,李明柳倒是矜持了点,只是一只手握着,不过他喊的是“郑所”。

——一段很多人已经忘记了的历史是,当初远芯支援成光所搞第一台光刻机的时候,李明柳是远芯团队的负责人,他曾经在成光所呆了接近一年,期间还和设计工程师拍过桌子。

“哈哈,小山,明柳,里边请!”郑振川容光泛发,哈哈大笑着,引着二人走向楼内。

都不是外人,郑振川自然不需要客套,他直接把二人带进了自己的办公室。

“郑所,你这是会议室吧?”

进屋后,李明柳看着堪比一间教室大小的办公室,便有些忍不住笑了起来——他和苏远山不一样,他是第一次来这边。

“办公室,平时这边放的是模型什么的,然后还有学生也在这边,今天你们要过来,就收拾了一下。”郑振川笑眯眯地看着李明柳,突然之间便有些感慨起来:“明柳,我还记得当初你们过来的时候,这一晃……都十六年了?”

“差不多得有十六年了。”

“嗯,当初的帅小伙也变成中年人了。”郑振川一边走向自己的办公桌,一边打趣道。

“这位从少年都成中年人了呢。”李明柳坐到沙发上,笑呵呵地望向苏远山。

“咳……”苏远山咳嗽一声:“郑叔,我还赶着回家吃饭呢。”

“回啥家?来了我这你还走得掉么?”郑振川笑着回到,然后抱着笔记本便走到了茶几旁。

看着笔记本,苏远山和李明柳同时一笑。

嗯,笔记本是远芯的xbook7。

郑振川从腰间取出一个加密u盘插入笔记本,又操作了几下后,便将屏幕转向苏远山和李明柳。

“这是验证机的设计方案,也是目前的最终设计方案。”

苏远山微微点头,眼睛却渐渐亮了起来。

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